Б-87460

    Власкина, С. И.
    Пленки карбида кремния [Текст] : монография / С.И. Власкина, Г.С. Свечников, В.А. Смынтына. - О. : Астропринт, 2007. - 103 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 98-103. - ISBN 978-966-318-712-9 : 15.00 р.
УДК
Рубрики: КРЕМНИЯ СОЕДИНЕНИЯ--SILICON COMPOUNDS
   ПОЛУПРОВОДНИКИ--SEMICONDUCTORS

Кл.слова (ненормированные):
ПЛЕНКИ КАРБИДА КРЕМНИЯ, ПЛЕНКИ SiC


Доп.точки доступа:
Свечников, Г.С.; Смынтына, В.А.
Экз-ры: (1)